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Akribis-Air智能研磨拋光機

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Akribis-Air智能研磨拋光機,具有高度自動化的獨立系統,提供了工藝創新,在短時間內可實現Z高水平的處理。完整的Akribis-air研磨拋光系統具有智能自動化的功能,如盤面平整度控制、夾具自動設置、動態負荷控制、增加控制參數、實時數據收集和反饋、計量磨料供應、自動清洗功能等。

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    Akribis-air智能研磨拋光機,具有高度自動化的獨立系統,提供了工藝創新,在短時間內可實現zui高水平的處理。

Akribis-Air智能研磨拋光機功能:

  • 盤面平整度控制
  • 夾具自動設置
  • 動態負荷控制
  • 增加控制參數
  • 實時數據收集和反饋
  • 計量磨料供應
  • 自動清洗功能

    單工作站系統配有400mm的盤,速度為100rpm。當使用LOFITECH的動態負載控制的新智能夾具系統,在廣泛的應用程序中提供快速、可靠和高度準確的結果。LOFITECH的空氣驅動智能夾具可用于100毫米和150毫米晶圓處理。

Akribis-air智能研磨拋光機典型應用:

  • 硅集成電路、太陽能和波導
  • III-V族化合物稀釋和拋光
  • 藍寶石和發光二極管
  • 碳化硅光學,發光二極管和電力電子
  • 氮化鎵-光學儀器、激光、射頻高頻

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