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Logitech CP3000化學拋光設備

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Logitech CP3000化學拋光設備能很好的滿足腐蝕拋光溶劑,同樣也適用于腐蝕性較弱的Chemlox拋光,如半導體晶片的背拋光?,F在的電子器件對于晶片尺寸,表面平整度、平行度及厚度控制都有非??量痰目刂埔?,而CP3000化學拋光機,特別是跟Logitech的晶片處理系統配合使用作為Z后一個步驟時,能完全達到這些控制標準。

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Logitech CP3000化學拋光設備

·  zui少次級表面損傷

·  抗腐材料制成

·  zui大樣品尺寸—直徑20cm (8")

·  方便,遠程面板控制

·  半導體晶片和光晶體的精細腐蝕拋光

介紹

·  精細的半導體晶片及其它電子、光電晶體的表面拋光都要求zui低的次級表面損傷,這就需要進行一道zui終      腐蝕拋光工藝。這些工藝中使用的化學劑,如溴甲醇,過氧化氫或酸腐蝕劑等,都有很強的化學腐蝕作用,這就需要操作的設備具有防腐蝕的功能并適合這些操作,而且安全。Logitech CP3000化學拋光設備能很好的滿足這些腐蝕拋光溶劑,同樣也適用于腐蝕性較弱的Chemlox拋光,如半導體晶片的背拋光?,F在的電子器件對于晶片尺寸,如表面平整度、平行度及厚度控制都有非??量痰目刂埔?,而CP3000化學拋光機,特別是跟Logitech的晶片處理系統配合使用作為zui后一個步驟時,能完全達到這些控制標準。

·  結構

     Logitech CP3000化學拋光設備主要由聚丙烯,PVDF(聚偏氟乙稀)和其它抗腐蝕材料制成,它被設計可安放在一個通風框內使用, 這樣給操作者以zui大的方便和安全。 甲板下的冷卻扇,有互鎖功能,與機器相結合以防止爆炸氣體或腐蝕氣體的聚集,并保持一個恒定的操作溫度。為安全起見,一旦結構內某因素導致空氣流速減少大于50%,遠程切斷顯示燈亮,同時機械會自動切斷電源,拒絕再次啟動。

·  配置

      配置: 機器由一個主驅動單元,大約410mm(16”)見方,一個防腐蝕的填料單元,一個廢料槽和一個遠程控制模塊組成,按需要這個模塊可以安放在通風框外。拋光盤下有一個可移除的PVC拖盤,用以保護主機內部,并且容易清洗。 標準型機器有一個齒輪驅動裝置,樣品在行星齒輪內繞著中心齒輪轉動。偏心驅動版本的機型是同防Chemlox化學腐蝕的半月夾手臂一起使用,這個版本的機器可以帶動樣品進行左右擺臂。同時還帶有一個自動填料裝置。偏心版本也可以接受三個位置的往復擺臂。

·  應用

1、zui典型的應用是以下材料等在封裝及外延生長前的末級化學腐蝕拋光:

2、用于紅外探測和其它器件的碲鋅鎘,銻化銦,碲鎘汞

3、薄的或超薄的半導體材料,如砷化鎵,磷化銦和多種Ⅲ-Ⅴ族,Ⅱ-Ⅵ族化合物(ASIC’s等)

4、硫化鎘及類似的光電材料
     Chemlox化學拋光也特別適合很多這些材料的背拋光。CP3000能理想的用于所有需要電子/光學級拋光的高標準應用,提供了晶體zui小應力解決方法。 

CP3000化學拋光設備規格

·  電源: 220V/50Hz

·  重量:42公斤(帶拋光料桶,有齒輪板)

·  主單元:400x435x260mm

·  zui大高度,帶料桶:660mm

·  拋光盤直徑:356mm

·  zui大樣品尺寸:1個直徑200mm/(8"),或三個直徑114mm/(4.5")

·  拋光盤轉速:5-70轉/分鐘(連續可變)

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